设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器,其光学调制原理采用强度调制型,微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片。对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究,优化光学参数,并制作传感器样品。经实验测试,灵敏度达80mV/Pa。 关系并非线性，经数学计算，该函数关系在某一区间内近似于线性。因此，需通过实验绘出光强I与感声膜位移w函数关系的拟合曲线，力求找到光强与位移呈线性或简单函数关系的区间，以便于传感器的设计。2光纤与感声微结构耦合技术实验强度调制型光路与敏感结构耦合的2个主要光路参数为光纤入射角和光纤与感声膜之间的距离，2个参数选择是否合理将直接影响传感器的各项性能，因此，通过实验研究2个参数对光强调制技术的影响。本实验将敏感膜片封装在金属探头内部，两光纤通过光纤调整架固定并且对准敏感膜片传感器设计-数控滚圆机张家港滚弧机滚圆机价格低电动滚圆机多少钱，如图3所示。光源发出的光经入射光纤传播射向敏感膜，反射的光经出射光纤，并由光功率计测其光强。本实验系统的坐标轴如图4所示。在实验中，通过调节2个转动平台，改变光纤的入射角;通过调节位移平台，改变光纤与感声膜之间的距离和光纤的对准位置。本实验研究入射角分别为30°，45°时，传感器设计-数控滚圆机张家港滚弧机滚圆机价格低电动滚圆机多少钱通过调整光纤与感声膜之间的距离及光纤的对准位置，用不同的组合进行实验，以求找到信号的变化规律。本文由张家港市泰宇机械有限公司滚圆机网站采集网络资源整理!   http://www.dapengkuoguanji.com/图4中光纤入射角和光纤与膜片的距离YF是光路与敏感结构耦合的2个主要光路参数，通过实验来确定光路与敏感结构耦合的最佳参数。左、右光纤位置的变化(XL，YL，ZL，XＲ，YＲ，ZＲ)及膜片水平方向的变化(XF)对光纤的对准精度有较大影响，若光纤偏离对准位置，光强损耗将增大，通过实验确定光纤封装误差，即光纤偏离对准位置的程度。硅膜片位移平台光纤图3测试系统的膜片和光纤的结构示意图图4实验系统坐标轴的示意图Fi通过实验和对实验数据的分析研究以下参数关系设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质,采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度,以电荷转移电路为微电容测量电路,用0.35μm多晶硅栅进行设计,形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真结果表明:在测量激励方波激励下,片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的直流电压输出特性。 针对目前iGPS有线光电传感器无法应用于大型构件吊装的问题,介绍了一种基于STM32F103平台的iGPS无线光电传感器的设计。采用STM32F103ZET6芯片作为主控芯片,nRF24L01作为无线数传模块。该设计由前端处理电路与MCU电路组成,前端处理电路将微弱的硅光电池信号转换为可供STM32采集的信号,STM32采集信号后并通过无线数传模块nRF24L01发送给上位机。实验结果表明:该设计数据采集速度与精度较高,满足系统要求。 传感器设计-数控滚圆机张家港滚弧机滚圆机价格低电动滚圆机多少钱本文由张家港市泰宇机械有限公司滚圆机网站采集网络资源整理!   http://www.dapengkuoguanji.com/