目前CF基板的宏观缺陷出现后是无法修补的,当缺陷的特定值超过Spec,Glass上相应的Panel就会被判为Panel NG。每天会有很多Panel因为宏观品质NG掉。而所有的宏观缺陷中,竖线Mura所占到的比率最高。提出一种可自动修复NG竖线的Mura设备的设想。衡量竖线Mura是否符合标准的Spec参数为膜厚,当基板上的Panel出现膜厚值超过Spec值的竖线Mura,就需要将此Panel判为NG,后续报废掉。新设想的Mura检测机可通过新设计的"探针单元"确定竖线区域膜厚的高低,再利用"竖线处理单元"对竖线进行处理,并根据"图像对比单元"的数据对比进行结果确认或再修改,快速将此竖线的特性值处理为Spec内,使得此缺陷不会导致Panel NG。这就使得CF基板的OK比率有了大幅度的提高,为公司节约了大量的成本,更重要的是实现了CF基板宏观缺陷的自动化修补。 异常区域涂的膜厚与正常区域不同。3）由于异常区域膜厚与正常区域不同，在Mura图像上可见颜色异常。2具体设备设计较目前Mura设备，添加以下三个单元：1）探针感知单元：确认竖线区域的膜厚同正常区域相比，是薄是厚，以确定竖线修补方法。2）竖线处理单元：针对膜薄或膜厚的竖线区域，进行相对应的修补，使得竖线特性在spec内。3）本文由公司网站滚圆机网站 转摘采集转载中国知网整理!   http://www.dapengkuoguanji.com/ 图像对比单元：自动化修补-数控滚圆机滚弧机张家港滚圆机滚弧机折弯机滚圆机首先通过灰度差对比，判断竖线是否超过Spec，需要修补。最后在修补完成后，确认修补后的灰度值是否在Spec内。具体结构如图5所示。图5新设计示意图3具体实施过程1）基础数据库的建立。首先收集各线竖线Mura达到Spec值的相应基板。如图6所示。图6竖线Spec值统计将这类基板放入Mura机，利用新设计的“图像对比单元”中的灰度比较算法，由图像对比PC算出竖线区域与正常区域的灰度差值，一一对应。如图7所示。图7Mura机Spec值统计将膜厚差Spec值转化为灰度差Spec值，以此确定出Mura设备随时可检出的灰度差参考值。2）量产基板正常流入，确认有竖线产生。如图8所示。图8竖线Mura灰度图像3）对竖线进行灰度差测量，以确定此竖线是否为NG竖线。利用新设计的“图像对比单元”中的灰度比较算法，对竖线Mura与正常区域的灰度差进行测量，求出灰度差值A，同系统记录的此种竖线的灰度差Spec进行比较，如小于Spec，正常排出；如超过Spec值，确认此为NG竖线。4）对NG竖线进行探针感应，确认竖线区域膜厚同正常区域相比是薄是厚。由于灰度图像无法确认出竖线区域的膜厚同正常区域相比是薄是厚，薄厚决定了后续对竖线自动化修补-数控滚圆机滚弧机张家港滚圆机滚弧机折弯机滚圆机本文由公司网站滚圆机网站 转摘采集转载中国知网整理!   http://www.dapengkuoguanji.com/